Vakuum-Massenspektrometrie

Mit dem Massenspektrometer e-Vision von MKS Instruments sind unter anderem Restgasanalysen einfacher Gasgemische (Luft, Lasergase u.ä.) sowie Prozessüberwachung und Überwachung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich möglich.

Es können Kontaminationen, z.B. Rückstände von Betriebsmitteln (Öl einer Vorpumpe, etc.) oder Ausgasungen, wie sie beispielsweise bei thermischen Prozessen (z.B. Heizelement im Rezipient) oder durch Abgabe von Lösungsmitteln (Aceton, Wasser u.ä.) vorkommen.

Auch bei der Lecksuche kann das Gerät eingesetzt werden, jedoch empfehlen wir hier besser den Einsatz eines Lecktesters.

Da das Massenspektrometer sehr empfindlich gegenüber Fehlbedienung ist, werden Untersuchungen soweit wie möglich bei uns im Haus durchgeführt. Ist dies nicht möglich, kann das Gerät nach einer ausführlichen Einweisung auch ausgeliehen werden.

Gerätetechnik:

e-Vision-Massenspektrometer

  • Druckbereich: minimal: 2,6 · E-11 mbar / maximal: 1,3 · E-4 mbar
  • Massebereich: 1-100 amu
  • (Flansch-)Anschluss/Installation: DN CF38 (70mm / 2,75“ AD)
  • Ionenquelle: offen, radial, 2 Wolfram-Filamente, EI: 70eV
  • Software: EasyViewTM oder via Web Browser Applet (TPC/I)

 

Ansprechpartner:
Ines Hense, ines.hense@tec-institut.de
Timo Junker, timo.junker@tec-institut.de (Abteilungsleitung)